芯片制造车间，不仅洁净等级高，而且是自动化程度最高的车间，晶圆在不同工序之间的转移，都是依赖充遍布芯片车间上方的轨道交通系统进行，芯片无尘车间使用空中运输系统进行晶圆的搬运是为了保持洁净环境，实现自动化作业，提高生产效率和安全性。
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发布日期：2024-07-18 浏览量：
芯片制造车间，不仅洁净等级高，而且是自动化程度最高的车间，晶圆在不同工序之间的转移，都是依赖充遍布芯片车间上方的轨道交通系统进行，芯片无尘车间使用空中运输系统进行晶圆的搬运是为了保持洁净环境，实现自动化作业，提高生产效率和安全性。
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